潔凈室對其通風(fēng)系統(tǒng)有特殊要求，包括充足的空氣流量和壓力、精確的溫度和濕度調(diào)控以及始終如一的空氣質(zhì)量(圖1)，不管空氣流通方式或房間尺寸如何均同樣適用(圖2)?？梢酝ㄟ^風(fēng)機過濾單元（FFU）實現(xiàn)這些要求，該單元將過濾系統(tǒng)與風(fēng)機相結(jié)合，采用吸頂式安裝，特別是在大型潔凈室中。

圖1：潔凈室通風(fēng)有2種氣流系統(tǒng)：紊流(左)和層流(右)

在潔凈室使用FFU是補給潔凈空氣最經(jīng)濟的方法之一。FFU的核心極其緊湊，扁平化設(shè)計的模塊式內(nèi)置風(fēng)機只需要很小的安裝空間。

圖2：即插即用式風(fēng)機模塊，風(fēng)機過濾單元FFU應(yīng)用(左)，吸頂式FFU，內(nèi)部裝有空氣顆粒物過濾器(右)

由于高空氣置換率，潔凈室中運行的空調(diào)和通風(fēng)系統(tǒng)消耗能量最多，使能源效率日益成為一個重要問題。FFU生產(chǎn)商不僅需要高度緊湊的風(fēng)機，還必須使其高效地運行。這就使我們的綠色科技EC技術(shù)的優(yōu)勢顯得尤為突出，因為采用該技術(shù)的FFU能達到50%以上的效率，而對于傳統(tǒng)風(fēng)機技術(shù)這是不可能實現(xiàn)的。在噪聲釋放方面，綠色科技EC風(fēng)機也能滿足嚴格的要求，例如，RadiCal?離心風(fēng)機的噪音水平比之前的市場標準低6-7dB(A)，可顯著改善潔凈室噪音水平和工人的舒適度。

電機和風(fēng)機專家依必安派特提供一系列專門用于風(fēng)機過濾單元并且滿足所有相關(guān)強制性要求的EC離心風(fēng)機?？蛇x直徑有310、355 和400mm，在250-300 Pa背壓下空氣動力性能可達1170、1750和2330m3/h。風(fēng)機因其外轉(zhuǎn)子設(shè)計極為緊湊，高度從190到275mm不等，尺寸扁平，方便與同樣緊湊的FFU集成。

圖3：采用節(jié)能型綠色科技EC技術(shù)的緊湊風(fēng)機，用于風(fēng)機過濾單元

因為EC電機效率極高，排放到流通空氣中的廢熱很少，產(chǎn)生的環(huán)境熱應(yīng)力也較小，從而顯著降低了對冷卻系統(tǒng)的需求。

通過0-10V信號或數(shù)字RS-485界面控制EC風(fēng)機，可以實現(xiàn)基于實際需求的運行，此應(yīng)用非常適用于有幾千臺、甚至幾萬臺FFU運行的潔凈室。在這種情況下，使用Modbus 或ebmBUS進行聯(lián)網(wǎng)極為切實有效(圖4)，通過中央電腦控制界面可以平穩(wěn)調(diào)整電機運行速度。由于EC電機在部分荷載運行中比基于其它控制理念的電機效率更高，因而經(jīng)濟性也更高。如果某臺過濾器吸頂風(fēng)機故障，可以通過增加鄰近風(fēng)機的速度進行補償。這種冗余功能可以通過維持適當氣流，實現(xiàn)高度的運行可靠性。

圖4：支持Modbus和ebmBUS接口聯(lián)網(wǎng)的EC風(fēng)機，可使用直觀的軟件進行控制

風(fēng)機在潔凈室內(nèi)使用時，其葉輪通常由金屬制成，關(guān)于在潔凈室通風(fēng)系統(tǒng)中使用塑料制品常常有所保留。塑料制品生產(chǎn)過程中的添加劑疑似會釋放和威脅到潔凈室生產(chǎn)制程有關(guān)的風(fēng)險，依必安派特審慎分析了釋氣問題。

RadiCal?系列風(fēng)機已經(jīng)經(jīng)過潔凈室運行違禁物質(zhì)嚴格測試，根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)ITRS 標準對這些物質(zhì)進行了評估。依必安派特的RadiCal?葉輪成功通過了所有相關(guān)測試。測試結(jié)果顯示，所使用的塑料無毒無害，潛在污染物的排放水平遠遠低于許可范圍?，F(xiàn)在，用戶在潔凈室應(yīng)用中也能享受到塑料葉輪創(chuàng)新設(shè)計的所有好處。畢竟，塑料可以提供比金屬多得多的設(shè)計選擇(圖5)。

圖5：RadiCal系列離心風(fēng)機，潔凈廠房的不二之選